HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器SEC-N100：適配多制程的數(shù)字流控解決方案
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器SEC-N100是一款面向非芯片半導(dǎo)體制程等多行業(yè)應(yīng)用場景的高精度質(zhì)量流量控制設(shè)備。該產(chǎn)品融合HORIBA在氣體流體控制技術(shù)方面的研發(fā)積淀與工程經(jīng)驗(yàn)，在工藝兼容性、響應(yīng)速度與通訊接口方面表現(xiàn)出色，特別適合復(fù)雜制程和高標(biāo)準(zhǔn)控制要求的工業(yè)用戶。
SEC-N100產(chǎn)品核心功能：高精度控制與極速響應(yīng)
SEC-N100系列支持10 SCCM至1000 SLM的大范圍流量控制，搭載與SEC-Z500系列同等級別的高性能傳感器與旁路測量結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)±1.0%的高精度控制。在動(dòng)態(tài)工況下，設(shè)備響應(yīng)時(shí)間可控制在1秒以內(nèi)，有效適應(yīng)快速調(diào)節(jié)需求，同時(shí)內(nèi)建PID參數(shù)，便于進(jìn)一步優(yōu)化系統(tǒng)性能。產(chǎn)品配備數(shù)字與模擬雙重通訊接口，支持RS-485、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT等多種工業(yè)總線協(xié)議，滿足多樣化設(shè)備集成需求，并提供出廠預(yù)設(shè)或用戶自定義量程與氣體類型的選項(xiàng)，提高部署的靈活性與可配置性。
SEC-N100多行業(yè)應(yīng)用場景適配
HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器廣泛適用于以下關(guān)鍵行業(yè)與場景：
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光伏制造：對PECVD、PVD等鍍膜過程中氣體比例與壓力進(jìn)行精細(xì)調(diào)節(jié)；
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功能玻璃干法鍍膜：控制等離子體發(fā)射所需的氣體流量，提升膜層穩(wěn)定性；
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藥品制造：支持冷凍干燥設(shè)備的真空系統(tǒng)氣體監(jiān)控；
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環(huán)境監(jiān)測：作為PM2.5采樣系統(tǒng)中的流量計(jì)核心部件；
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光纖制造：滿足MCVD/VAD等工藝氣體的高精度需求；
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實(shí)驗(yàn)室氣體系統(tǒng)：用于科研級精密氣體輸送和控制。
這種行業(yè)橫跨性使得SEC-N100成為現(xiàn)代智能制造及科研實(shí)驗(yàn)平臺的可靠核心流體控制部件。
SEC-N100模塊化設(shè)計(jì)與技術(shù)優(yōu)勢
SEC-N100在硬件設(shè)計(jì)上充分考慮用戶定制需求，具備以下特色：
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多樣的閥門配置：支持電磁閥（至50SLM）與壓電陶瓷閥（100/200SLM）兩種模式，覆蓋不同流量段的應(yīng)用；
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材質(zhì)與接口優(yōu)化：可選金屬或橡膠密封件，氣路表面未拋光處理，采用VCR連接，適配更高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)；
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環(huán)保與標(biāo)準(zhǔn)合規(guī)：滿足RoHS環(huán)保要求，符合工業(yè)級長期使用需求；
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可調(diào)氣體配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與控制量程，簡化系統(tǒng)切換與設(shè)備管理。
這種高度模塊化的特性，使得SEC-N100能夠快速部署在不同環(huán)境與設(shè)備上，大大提升整機(jī)適應(yīng)性與項(xiàng)目實(shí)施效率。
SEC-N100選型與技術(shù)服務(wù)支持
HORIBA堀場在質(zhì)量流量控制領(lǐng)域深耕多年，其SEC-N系列產(chǎn)品是流量控制系統(tǒng)國產(chǎn)化替代中的強(qiáng)力選項(xiàng)。目前，上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司作為HORIBA的合作服務(wù)商，提供包括SEC-N100在內(nèi)的系列流控設(shè)備選型指導(dǎo)、技術(shù)支持、樣本資料及定制化解決方案。憑借對國內(nèi)市場需求的深刻理解與技術(shù)服務(wù)積累，進(jìn)佳儀器能夠?yàn)楦黝惞I(yè)客戶及研究機(jī)構(gòu)提供專業(yè)、高效的售前售后支持。
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