HORIBA S48-32/HMT熱式質(zhì)量流量控制器：多場(chǎng)景流量控制解決方案

2025-08-20 17:51

HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-32/HMT是一款應(yīng)用于各類工業(yè)氣體過程控制的關(guān)鍵設(shè)備，具備高精度測(cè)量、快速響應(yīng)、良好線性補(bǔ)償和多協(xié)議通信能力。該型號(hào)繼承了S48系列一貫穩(wěn)定可靠的性能表現(xiàn)，采用熱式質(zhì)量測(cè)量原理，可直接測(cè)量并控制氣體質(zhì)量流量，在不同壓力和溫度條件下依然保持精準(zhǔn)輸出。其核心技術(shù)源自日本HORIBA STEC，由HORIBA METRON在中國本地化生產(chǎn)，兼顧技術(shù)先進(jìn)性與交付效率。

應(yīng)用場(chǎng)景覆蓋多個(gè)行業(yè)流程

S48-32/HMT作為HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器系列中的高性能型號(hào)，可在以下典型場(chǎng)景中實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性的流量控制：

  • 半導(dǎo)體工藝：擴(kuò)散氣體供應(yīng)、PECVD沉積、離子注入等需要微流量調(diào)控的制程；

  • 食品與飲料行業(yè)：混氣灌裝、冷卻干燥過程中的保護(hù)氣控制；

  • 光纖制造：MCVD、VAD、OVD等氣氛調(diào)節(jié)；

  • 工業(yè)爐與熱處理：燃燒比控制、焊接用氣混合；

  • 生物制藥：發(fā)酵氣體管理、生物反應(yīng)器供氣；

  • 真空鍍膜設(shè)備：薄膜沉積過程中的氣體比例精準(zhǔn)調(diào)節(jié)；

  • 氣體分析與色譜實(shí)驗(yàn)：樣氣采集比例調(diào)控、流路穩(wěn)定性管理；

  • 汽車行業(yè)：尾氣排放測(cè)試、壓縮氣體監(jiān)測(cè)等實(shí)驗(yàn)工況。

在上述多領(lǐng)域應(yīng)用中，S48-32/HMT質(zhì)量流量控制器能夠提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的數(shù)據(jù)支持和流體控制能力。

技術(shù)亮點(diǎn)：精度、兼容性、響應(yīng)性兼?zhèn)?/h2>

S48-32/HMT質(zhì)量流量控制器的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下幾方面：

  • 測(cè)量精度高：采用熱式測(cè)量技術(shù)，無需環(huán)境補(bǔ)償，即可獲得穩(wěn)定流量信號(hào)；

  • 響應(yīng)速度快：電/氣響應(yīng)時(shí)間均在25ms以內(nèi)，適配高速控制流程；

  • 線性補(bǔ)償優(yōu)化：具備多段線性修正機(jī)制，確保端點(diǎn)與中間值控制一致性；

  • 安裝靈活性強(qiáng)：可任意角度安裝，打破傳統(tǒng)MFC對(duì)位置的約束；

  • 通訊協(xié)議豐富：支持模擬量、RS485、PROFIBUS等多種工業(yè)總線，便于系統(tǒng)集成。

無論是連續(xù)流量控制還是批量實(shí)驗(yàn)調(diào)節(jié)，S48-32/HMT都能提供精準(zhǔn)、安全的過程管理支持。

合作信賴：HORIBA技術(shù) + 本地服務(wù)支持

S48-32/HMT系列由HORIBA STEC設(shè)計(jì)、HORIBA METRON制造，代表了HORIBA在氣體質(zhì)量流量控制領(lǐng)域的成熟經(jīng)驗(yàn)和持續(xù)創(chuàng)新。作為日本原裝核心部件與本地化制造能力結(jié)合的成果，產(chǎn)品在質(zhì)量保障與交貨周期上取得良好平衡。

目前，上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司作為HORIBA授權(quán)合作伙伴，長(zhǎng)期為國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)、高校實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體設(shè)備廠商、生物工程企業(yè)等客戶提供HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器的選型支持與技術(shù)服務(wù)。進(jìn)佳儀器提供靈活的供貨模式、專業(yè)的應(yīng)用指導(dǎo)，是企業(yè)信賴的流體控制合作伙伴。如需獲取HORIBA S48-32/HMT的詳細(xì)參數(shù)資料或具體應(yīng)用方案，歡迎聯(lián)系上海進(jìn)佳科學(xué)儀器有限公司，我們將為您的設(shè)備配套提供專業(yè)建議與一站式技術(shù)對(duì)接。

上海進(jìn)佳儀器