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HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀

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批發價格
面議
具體成交價以合同協議為準
起訂量
面議
型號規格

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀 簡介

產品參數
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產品簡介
IR-400 可在沉積過程中實時監測腔室清洗終點。通過優化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統部件的壽命。 多氣體監測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422) 高靈敏度 氣室加熱功能最高可達 180℃ 多重顯示 模擬/數字通信

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀 詳情介紹

功能/特點：
IR-400 實時終點監測的優勢
減少腔室清洗時間
減少清洗氣體使用量
可重復和可預測的清洗過程
延長腔室組件壽命

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀產品規格

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點監測的高級氣體監測儀參數

關于進佳儀器

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