HORIBA質量流量控制解決方案：多場景下的高性能選擇

2025-09-03 17:48

在高純氣體輸送、半導體制造和精密控制領域，質量流量控制器與壓力調節器的精準度與穩定性，直接影響到整個工藝流程的良率與安全。日本HORIBA堀場作為知名的流體控制品牌，針對不同工況推出了多款性能卓越的產品，覆蓋從低壓環境到高溫系統，從基礎氣體流量控制到復雜自動壓力管理的多樣需求。

精準控制：從R600到SEC-8000系列的多樣應用

HORIBA R600系列質量流量控制器專為背壓控制場景設計，搭載常閉型電磁閥，具備±0.5% F.S.的精度控制能力，適用于壓力范圍在10-300kPa之間的各種氣體控制任務。該產品兼容數字與模擬信號，靈活適配多種控制系統。

針對高溫環境應用的SEC-8000F/D系列，則使用全金屬結構，閥體與傳感器均可耐受150°C的烘烤工況，配合快速PID控制響應與DeviceNet等多種通訊接口，廣泛應用于MOCVD、腐蝕性氣體輸送等復雜工藝中。

自動調壓：UR-Z700系列帶來智能化背壓控制體驗

在需要精準調節系統背壓的場合，UR-Z700系列數字式自動壓力調節器提供了理想選擇。該系列可支持模擬與DeviceNet數字通信，具備RoHS兼容性，配備新型高流量調節閥，能夠高效應對多氣體通道共管干擾問題。其優異的響應速度與靈敏控制能力，使其廣泛應用于半導體、FPD工藝、光伏制程等行業。

精密監測：VG-200S電容壓力計的穩定性優勢

VG-200S系列電容式壓力計采用不銹鋼結構，支持多種壓力量程（例如133.32Pa、1.333kPa、13.332kPa等），通過溫控系統提升測量穩定性。信號輸出精度達±0.25% F.S.，響應時間小于60ms，支持0-10V線性輸出或RS485通訊，是高精度真空監控或氣體壓力閉環控制的理想配套儀表。

多元組合，盡在上海進佳科學儀器有限公司

作為專業的儀器設備服務商，上海進佳科學儀器有限公司提供HORIBA系列質量流量控制器、電容式壓力計、自動壓力調節器等多品類產品，涵蓋從氣體控制到壓力監測的整套解決方案。公司不僅提供原廠正品與定制選型建議，還配合現場技術支持與快速交貨服務，廣泛服務于半導體、環保、精細化工及實驗室氣體系統等行業。